[发明专利]一种夹心结构的电容

摘要

本发明公开了一种夹心结构的电容，包括P衬底、扩散在P衬底上的阱区、在阱区之上的第一电容、在第一电容之上的第二电容、在第二电容之上的第三电容、在第三电容之上的第四电容，还包括连接金属，所述第一、第二、第三、第四电容通过连接金属连接为一个总电容。本发明通过一种夹心结构形成由多个电容并联的电容结构，使得在单位面积的电容量达到常规电容的3~4倍，大大降低了电容在集成电路中所占的面积，降低电路的成本。

主权项

一种夹心结构的电容，其特征在于：包括P衬底，在P衬底上扩散有阱区，阱区上淀积有第一电容介质，第一电容介质上淀积有第一多晶，阱区、第一电容介质和第一多晶构成第一电容，阱区作为第一电容的下极板，第一多晶作为第一电容的上极板，第一电容介质作为第一电容的介质，阱区上的扩散区作为阱区的上引出端，扩散区与第一电容介质之间有场氧隔开；所述第一多晶之上淀积有第二电容介质，第二电容介质之上淀积有第二多晶，第一多晶、第二电容介质和第二多晶构成第二电容，第一多晶作为第二电容的下极板，第二多晶作为第二电容的上极板，第二电容介质作为第二电容的介质；所述第二多晶之上淀积有第三电容介质，第三电容介质之上溅射有第一金属，第二多晶、第三电容介质和第一金属构成第三电容，第二多晶作为第三电容的下极板，第一金属作为第三电容的上极板，第三电容介质作为第三电容的介质；所述第一金属之上淀积有第四电容介质，第四电容介质之上溅射有第二金属，第一金属、第四电容介质和第二金属构成第四电容，第一金属作为第四电容的下极板，第二金属作为第四电容的上极板，第四电容介质作为第四电容的介质；还包括连接金属，所述第一、第二、第三、第四电容通过连接金属连接为一个总电容。