[发明专利]一种基于氢离子注入的双极型器件ELDRS效应加速实验方法有效
| 申请号： | 201410135842.8 | 申请日： | 2014-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN103870664B | 公开（公告）日： | 2017-01-18 |
| 发明（设计）人： | 李兴冀;刘超铭;杨剑群;肖景东;何世禹;杨德庄 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所23109 | 代理人： | 岳泉清 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种基于氢离子注入的双极型器件ELDRS效应加速实验方法，属于电子技术领域，本发明为解决现有双极型器件的ELDRS效应地面模拟实验没有加速实验的普遍适用方法，即不能用高剂量率辐照实验来实现低剂量率增强效应加速实验的问题。具体过程为根据选取的双极型器件钝化层厚度和密度，利用SRIM软件进行仿真，获取注入氢离子的能量与射程；利用TCAD软件进行仿真，获取抗辐照性能参数电流增益；改变氢离子的注量，使TCAD模拟双极型器件的电流增益变化量小于10%，记录氢离子注量；根据注入氢离子的能量、射程和注量，在钝化层中注入氢离子；对注入氢离子后的双极型器件进行辐照实验。本发明用于空间辐照环境中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 氢离子 注入 双极型 器件 eldrs 效应 加速 实验 方法 | ||
【主权项】：
一种基于氢离子注入的双极型器件ELDRS效应加速实验方法，其特征在于，该方法的具体过程为：步骤一、选取一个双极型器件，根据选取的双极型器件钝化层的厚度和密度，利用SRIM软件对该双极型器件的结构进行仿真，获取注入的氢离子的能量与射程；步骤二、根据步骤一确定的氢离子的能量与射程，利用TCAD软件对选取的双极型器件结构进行仿真，获取抗辐照性能参数；所述抗辐照性能参数包括电流增益、过剩基极电流、电源电流和输入电流；步骤三、改变注入双极型器件的氢离子的注量，使TCAD模拟双极型器件的电流增益变化量小于10％，记录此时的氢离子的注量；步骤四、根据步骤一获取的注入氢离子的能量与射程和步骤三获取的注入氢离子的注量，在选取的双极型器件的钝化层中注入氢离子；步骤五、对注入氢离子后的双极型器件进行辐照实验。
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