[发明专利]磁阻膜层结构以及使用此磁阻膜层结构的磁场传感器有效
申请号: | 201410134446.3 | 申请日: | 2014-04-03 |
公开(公告)号: | CN104103753B | 公开(公告)日: | 2017-09-08 |
发明(设计)人: | 黄鑫泓;翁焕翔;赖志煌;黄国峰 | 申请(专利权)人: | 昇佳电子股份有限公司;赖志煌 |
主分类号: | H01L43/08 | 分类号: | H01L43/08;G01R33/09 |
代理公司: | 深圳新创友知识产权代理有限公司44223 | 代理人: | 江耀纯 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开了一种磁阻膜层结构以及使用此磁阻膜层结构的磁场传感器,所述磁阻膜层结构包括一固定层;一被固定层,设置在所述固定层上;一正交耦合层,设置在所述被固定层上;一参考层,设置在所述正交耦合层上;一间隔层,设置在所述参考层上;以及一自由层,设置在所述间隔层上。 | ||
搜索关键词: | 磁阻 结构 以及 使用 磁场 传感器 | ||
【主权项】:
一种磁阻膜层结构,其特征在于,包含:一固定层;一自由层;一被固定层,介于所述固定层与所述自由层之间,并与所述固定层直接接触;一正交耦合层,介于所述被固定层与所述自由层之间,并与所述被固定层直接接触;一参考层,介于所述正交耦合层与所述自由层之间,并与所述正交耦合层直接接触,所述参考层具有单一的磁化方向,所述被固定层的磁化方向与所述参考层的磁化方向彼此垂直;以及一间隙壁层,介于所述参考层与所述自由层之间,并与所述参考层及所述自由层直接接触;其中所述磁阻膜层结构为具有长轴和短轴的三维立体膜层结构,且所述磁阻膜层结构中的各层都具有相同的平面尺寸,且所述自由层的磁化方向平行于所述长轴。
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