[发明专利]光刻机双频激光干涉仪垂向测量光路反射镜调整装置

摘要

光刻机双频激光干涉仪垂向测量光路反射镜调整装置属于光学元件调整技术领域；该装置包括反射镜、反射镜座、两个调整脚座总成、一个固定脚座总成，反射镜粘接在反射镜座上并通过三个拉簧补偿反射镜的重力变形，在反射镜座上安装有两个调整脚座总成和一个固定脚座总成，通过调整脚座和固定脚座上的防脱螺钉将反射镜座安装在测量框架上，通过调节调整脚座的差分螺钉可以实现反射镜座相对测量框架的调整，实现反射镜的调整；本发明调整精度高、结构简单，并且具有锁紧功能。

主权项

一种光刻机双频激光干涉仪垂向测量光路反射镜调整装置，其特征在于在反射镜座(2)上部设置三个凸台(11)，反射镜(1)粘接在三个凸台(11)的下端部上，所述反射镜(1)的一侧通过一个拉簧A(10)将反射镜(1)上的单弹簧销(8)与反射镜座(2)上的螺钉B(9)连接，所述反射镜(1)的另一侧通过两个拉簧B(7)将反射镜(1)上的双弹簧销(5)与反射镜座(2)上的两个螺钉A(6)连接；在所述反射镜座(2)上安装一个固定脚座总成(3)和两个调整脚座总成(4)，所述一个固定脚座总成(3)与两个调整脚座总成(4)在反射镜座(2)上呈三角形配置，反射镜座(2)通过一个固定脚座总成(3)上的防脱螺钉A(3‑3)和两个调整脚座总成(4)上的防脱螺钉B(4‑5)安装在测量框架上；所述调整脚座总成(4)由锁紧钢套(4‑1)、锁紧螺钉(4‑2)、差分螺钉(4‑3)、调整钢套(4‑4)、防脱螺钉B(4‑5)、调整座轴套(4‑6)和调整脚座(4‑7)构成，所述差分螺钉(4‑3)上部和下部上的螺纹螺距不同，通过差分螺钉(4‑3)将调整脚座(4‑7)与反射镜座(2)上的调整钢套(4‑4)连接，调节差分螺钉(4‑3)实现反射镜座(2)相对测量框架的调整；所述锁紧螺钉(4‑2)为沉头螺钉，锁紧钢套(4‑2)安装在调整座轴套(4‑6)内，所述调整座轴套(4‑6)下侧外部呈圆弧凸起结构，且设有两个豁口，通过拧动锁紧螺钉(4‑2)使调整座轴套(4‑6)的圆弧凸起膨胀，将调整脚座(4‑7)与锁紧钢套(4‑1)锁紧定位；所述固定脚座总成(3)由固定螺钉(3‑1)、垫片(3‑2)、防脱螺钉A(3‑3)、压力弹簧(3‑4)、球面垫圈(3‑5)、锥面垫圈(3‑6)和固定脚座(3‑7)构成，所述固定螺钉(3‑1)从上至下依次穿过垫片(3‑2)、压力弹簧(3‑4)、固定脚座(3‑7)、球面垫圈(3‑5)、锥面垫圈(3‑6)、反射镜座(2)，将固定脚座(3‑7)与反射镜座(2)连接，所述球面垫圈(3‑5)与锥面垫圈(3‑6)接触配合，固定脚座(3‑1)调节压力弹簧(3‑4)压缩力度。