[发明专利]一种铌靶材的制备方法有效
| 申请号： | 201410031940.7 | 申请日： | 2014-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN103757596A | 公开（公告）日： | 2014-04-30 |
| 发明（设计）人： | 汪凯;李桂鹏;张国军;张春恒;李兆博;同磊;郭从喜;孙伟 | 申请（专利权）人： | 宁夏东方钽业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;B23P15/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 赵青朵 |
| 地址： | 753000 宁夏回族*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种铌靶材的制备方法，包括以下步骤：a）将铌锭进行退火处理，将退火后的铌锭进行钻孔；b）将步骤a）得到的铌锭进行预热，在预热后的铌锭表面涂覆玻璃粉；c）将步骤b）得到的铌锭进行加热，将加热后的铌锭表面再次涂覆玻璃粉；d）将步骤c）得到的铌锭进行扩孔；将热扩孔后的铌管进行加热，将加热后的铌管进行挤压。本发明在铌靶材的制备过程中，通过采用钻孔与扩孔相结合的方式对铌靶材进行制孔，避免了长时间钻孔原料浪费的问题，同时缩短了铌靶材的制孔周期。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铌靶材 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种铌靶材的制备方法，包括以下步骤：a）将铌锭进行退火处理，将退火后的铌锭进行钻孔；b）将步骤a）得到的铌锭进行预热，在预热后的铌锭表面涂覆玻璃粉；c）将步骤b）得到的铌锭进行加热，将加热后的铌锭表面再次涂覆玻璃粉；d）将步骤c）得到的铌锭进行扩孔，将扩孔后的铌管进行加热，将加热后的铌管进行挤压。
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