[发明专利]一种压阻式MEMS高过载加速度计有效
| 申请号： | 201410030354.0 | 申请日： | 2014-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN103969467B | 公开（公告）日： | 2016-10-26 |
| 发明（设计）人： | 徐晓苏;金博楠 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01P15/12 | 分类号： | G01P15/12;B81B7/02 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 肖念 |
| 地址： | 210018 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种压阻式MEMS高过载加速度计，包括边框、一组主梁、一组微梁以及质量块；所述主梁设在边框内，所有主梁与质量块连接；所述微梁设在主梁一侧或者两侧，微梁与主梁平行连接，当微梁设在主梁一侧时，整个加速度计结构呈中心对称，当微梁设在主梁两侧时，整个加速度计结构呈全对称。本发明将主微梁的同时将结构简化到一块硅片上，既克服了高量程高灵敏度呈负相关的矛盾，又简化了工艺，使得大批量生产成为可能，同时通过缓冲块的设计消除了梁直接和质量块连接所造成拐角处出现应力集中现象导致加速度计容易损坏的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压阻式 mems 过载 加速度计 | ||
【主权项】：
一种压阻式MEMS高过载加速度计，其特征在于：包括边框、一组主梁、一组微梁以及质量块；所述主梁设在边框内，所有主梁与质量块连接；所述微梁设在主梁一侧或者两侧，微梁与主梁平行连接，当微梁设在主梁一侧时，整个加速度计结构呈中心对称，当微梁设在主梁两侧时，整个加速度计结构呈全对称；所述微梁与主梁之间设有一凹槽，微梁与质量块和边框连接处分别设有一缓冲块，缓冲块侧面呈直角梯形。
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