[发明专利]正型感光性树脂组合物、和图案形成方法有效
| 申请号： | 201380055257.0 | 申请日： | 2013-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN104737074B | 公开（公告）日： | 2019-12-10 |
| 发明（设计）人： | 野田国宏;千坂博树;盐田大 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/004;H01L21/027 |
| 代理公司： | 11021 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 葛凡 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供包含聚酰亚胺树脂的正型感光性树脂组合物，其能够通过光刻法良好地形成图案，可赋予耐热性优异的图案。另外，提供使用上述正型感光性树脂组合物的聚酰亚胺树脂图案的形成方法。另外还提供由上述聚酰亚胺树脂图案的形成方法形成的、图案化后的聚酰亚胺树脂膜。在感光性树脂组合物中配合(A)聚酰亚胺树脂和(B)通过光的作用生成特定结构的咪唑化合物的化合物。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 聚酰亚胺 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
1.一种正型感光性树脂组合物，其包含：/n(A)聚酰亚胺树脂、和(B)通过光的作用生成咪唑化合物的化合物，/n其中，(B)成分为下述式所示的化合物，/n
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