[实用新型]可简化被镀物抓取的溅射机装置

摘要

一种可简化被镀物抓取的溅射机装置，包含：一溅射腔；其包含有一腔门，用于取出或置入被镀物于该溅射腔内；一受镀转盘，其上设有至少一个穿孔，穿孔用于安置溅射所需要的被镀物；一溅镀枪，受镀转盘位于被镀物及溅镀枪之间；被镀物安装在受镀转盘的穿孔内，且对齐溅镀枪的靶材；一个推送轴，推送轴的轴向位置指向腔门；推送轴通过轴向移动，将被镀物顶出受镀转盘，并向该腔门移动；以及一个输送装置，输送装置用于将被镀物从溅射腔取出。通过推送轴将该镀物推出溅射腔至该输送装置内，其输送装置也为抽真空的状态，因此并不会破坏原先溅射腔的真空状态，以至于整体的操作难度降低，时间也减短。

主权项

一种可简化被镀物抓取的溅射机装置，其包含： 一个溅射腔，该溅射腔为一个高真空的腔体；该溅射腔包含有一个腔门，该腔门用于取出或置入被镀物于该溅射腔内； 其特征在于，还包含：一个受镀转盘，该受镀转盘包含一个位于该溅射腔之内的盘体，该盘体上设有至少一个穿孔，所述穿孔分别用于安置被镀物；其中该腔门朝向于该受镀转盘的位置； 一个溅镀枪，靶材安装在该溅镀枪的投射端，该投射端位于该溅射腔内，而该溅镀枪的另一端则延伸到该溅射腔外，该受镀转盘位于该被镀物及该溅镀枪之间； 该被镀物安装在该受镀转盘的所述穿孔内，且对齐该溅镀枪的靶材；该受镀转盘转动，令该被镀物随该盘体转动依次对齐该该溅镀枪中的靶材； 一个推送轴，推送轴安装在该溅射腔的一侧，该推送轴相对于该受镀转盘，且该推送轴与该溅镀枪位于同一侧；该推送轴的轴向位置指向该腔门；该推送轴前后轴向移动，以便将该被镀物向前推出该受镀转盘，并向该腔门移动从而移出至腔体外；以及 一个输送装置，连接于该腔门，该输送装置用于将该被镀物从该溅射腔取出。