[实用新型]一种常压化学气相沉积装置

摘要

为克服现有技术中常压化学气相沉积装置在运行过程中，只能在化学气相沉积结束后检查晶圆才能察觉到异常，不能及时发觉异常，也无法及时采取保护措施的问题，本实用新型提供了一种常压化学气相沉积装置，其包括一报警保护模块，所述报警保护模块包括可编程控制器、信号检测单元、报警单元；所述信号检测单元连接与所述可编程控制器的输入接口相连；所述报警单元与可编程控制器的输出接口连接。本实用新型实施例提供的常压化学气相沉积装置，由于在其上集成了报警保护模块，可以检测气体喷嘴的喷气状态及沉积尾气排放口的排气状态。当出现异常时，可编程控制器可及时通过报警单元进行警示，提醒操作人员及时采取措施。

主权项

一种常压化学气相沉积装置，包括一反应机台，所述反应机台内设有反应腔；所述反应腔内设有进料口、反应传送带、出料口、加热装置、若干气体喷嘴及若干沉积尾气排放口；所述进料口处设有用于从送料盒中向进料口载入晶圆的进料口机械手臂；所述出料口处设有用于从出料口向收料盒中收集晶圆的出料口机械手臂；所述加热装置设置在所述反应传送带下，用于加热所述反应腔；所述反应传送带通过一马达驱动，以载着所述晶圆从进料口传送向出料口；所述若干气体喷嘴设置在所述反应传送带上方，并靠近所述反应传送带，用于向所述晶圆上喷射反应气体；所述若干沉积尾气排放口将化学气压沉积反应后的尾气排出；其特征在于，还包括一报警保护模块，所述报警保护模块包括可编程控制器、信号检测单元、报警单元；所述信号检测单元与所述可编程控制器的输入接口相连；所述报警单元与可编程控制器的输出引脚连接；所述信号检测单元包括气体喷嘴传感器、排放口传感器；所述气体喷嘴传感器设置在气体喷嘴上，以检测所述气体喷嘴的喷气状态；所述排放口传感器设置在沉积尾气排放口，以检测所述沉积尾气排放口的排气状态。