[实用新型]机械手臂、传送装置及曝光设备有效
| 申请号： | 201320805345.5 | 申请日： | 2013-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN203630509U | 公开（公告）日： | 2014-06-04 |
| 发明（设计）人： | 胡晓栋 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;B25J19/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种机械手臂，包括：手臂主体、手臂尖端和对位辅助装置；所述手臂主体与手臂尖端相连，所述对位辅助装置活动设置于所述手臂主体上。在本实用新型提供的机械手臂、传送装置及曝光设备中，所述机械手臂上设置有对位辅助装置能够准确判断所述机械手臂与所述卡盘的相对位置，避免由于人为误判导致所述机械手臂与卡盘发生摩擦而影响设备运行并缩短机械手臂的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 机械 手臂 传送 装置 曝光 设备 | ||
【主权项】：
一种机械手臂，其特征在于，包括：手臂主体、手臂尖端和对位辅助装置；所述手臂主体与手臂尖端相连，所述对位辅助装置活动设置于所述手臂主体上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司，未经中芯国际集成电路制造（北京）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201320805345.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种可快速安装的集尘设备
- 下一篇：放射科用胶片抓取器
