[实用新型]一种半导体石英管用烘干装置有效
| 申请号： | 201320730741.6 | 申请日： | 2013-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN203642641U | 公开（公告）日： | 2014-06-11 |
| 发明（设计）人： | 陈士斌;周明强;张建 | 申请（专利权）人： | 江苏太平洋石英股份有限公司 |
| 主分类号： | F26B21/00 | 分类号： | F26B21/00 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 毛广杰 |
| 地址： | 222342 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种半导体石英管用烘干装置，包括保温壳体，所述保温壳体的顶部设置有风机系统及空气加热装置；所述保温壳体的顶部具有送风口，所述送风口与所述加热装置相连通；所述保温壳体的底部具有吸风口，所述吸风口与所述风机系统相连通。所述送风口内安装有过滤器，所述过滤器的出风口朝向保温壳体内部设置。所述风机系统与空气加热装置设置于同一外壳中，且所述风机系统处于空气加热装置的上方。本实用新型提供的半导体石英管用烘干装置，通过对加热循环空气经高效过滤器强制过滤，使洁净房内洁净度达到十万级以内，保证了石英管在高度洁净的保温壳体内烘干，从而解决了石英管在干燥过程中产生的污染问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 石英 管用 烘干 装置 | ||
【主权项】：
一种半导体石英管用烘干装置，其特征在于，包括保温壳体，所述保温壳体的顶部设置有风机系统及空气加热装置；所述保温壳体的顶部具有送风口，所述送风口与所述空气加热装置相连通；所述保温壳体的底部具有吸风口，所述吸风口与所述风机系统相连通。
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