[实用新型]化学机械研磨设备

摘要

本实用新型提供了一种化学机械研磨设备，包括热能系统，所述热能系统一方面与研磨浆臂连接，另一方面还与旋转马达所在的空间连通，所述热能系统收集所述旋转马达散发的热气体后传输供应至所述研磨浆臂，再通过设在研磨浆臂上的气孔将气体供应到所述研磨垫上。本实用新型通过热能系统的引入，进而通过温度的变化影响使用研磨垫的研磨速率，这是因为本实施例发现了温度对研磨垫的影响可以改变研磨速率，具体来说，当温度升高时，研磨速率增加，当温度降低时，研磨速率减小。此外，本实用新型通过传输旋转马达所散发的热气体实现研磨垫的温度变化，同时也解决了旋转马达在封闭高温环境中运作所导致的旋转马达寿命降低的问题。

主权项

一种化学机械研磨设备，至少包括研磨平台上的研磨垫、研磨浆臂、研磨头和用以检测研磨速率的检测系统，研磨浆液通过所述研磨浆臂供应到所述研磨垫上，所述研磨头由旋转马达驱动旋转，硅片在研磨头与研磨垫间实现研磨，其特征在于：还包括热能系统，所述热能系统一方面与所述研磨浆臂连接，另一方面还与所述旋转马达所在的空间连通，所述热能系统收集所述旋转马达散发的热气体后传输供应至所述研磨浆臂，再通过设在研磨浆臂上的气孔将气体供应到所述研磨垫上。