[实用新型]蒸发镀膜机用的电极装置有效
| 申请号： | 201320230376.2 | 申请日： | 2013-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN203333742U | 公开（公告）日： | 2013-12-11 |
| 发明（设计）人： | 朱刚劲;朱刚毅;朱文廓 | 申请（专利权）人： | 肇庆市腾胜真空技术工程有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 裘晖 |
| 地址： | 526060 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种蒸发镀膜机用的电极装置，包括电极棒、电极输入棒气缸和连接座，电极输入棒一端与电极棒连接，电极输入棒另一端通过连接座与气缸连接，气缸竖直设于电极输入棒上方，气缸与电极输入棒同轴设置。本电极装置将气缸竖直设于电极输入棒上方并与电极输入棒同轴设置，与传统的电极装置相比较，其结构较为紧凑，装置所占空间小，气缸与电极输入棒之间的连接也得到简化，可有效节约设备成本；气缸与连接座的连接采用和尚头方式，可以自动调整角度与电极输入棒接触，确保两者接触好，保证电极装置的导电性能；另外，其电极输入棒带有冷却功能，可有效减少电极输入棒工作时的发热量，使电极装置的密封性能得到保障。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 镀膜 电极 装置 | ||
【主权项】：
蒸发镀膜机用的电极装置，其特征在于，包括电极棒、电极输入棒、气缸和连接座，电极输入棒一端与电极棒连接，电极输入棒另一端通过连接座与气缸连接，气缸竖直设于电极输入棒上方，气缸与电极输入棒同轴设置。
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