[实用新型]一种半导体基片的大面积邦定结构有效

专利信息
申请号: 201320072667.3 申请日: 2013-02-08
公开(公告)号: CN203300703U 公开(公告)日: 2013-11-20
发明(设计)人: 许玉方 申请(专利权)人: 江苏微浪电子科技有限公司
主分类号: H01L33/62 分类号: H01L33/62
代理公司: 南京理工大学专利中心 32203 代理人: 朱显国
地址: 211400 江苏省扬州市*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 实用新型公开了一种半导体基片的大面积邦定结构,包括邦定用半导体基片和邦定用支撑基片,邦定用半导体基片、邦定用支撑基片表面上均设置有键合层,邦定用半导体基片和邦定用支撑基片至少一边的键合层上具有规则或无规则分布的微凸块;邦定用半导体基片键合层与邦定用支撑基片键合层通过邦定工艺进行键合。采用本实用新型的方案,可以大幅提高邦定工艺的成品率,还可以大幅减少划片时金属粘连造成的漏电等问题。
搜索关键词: 一种 半导体 大面积 结构
【主权项】:
一种半导体基片的大面积邦定结构,包括邦定用半导体基片和邦定用支撑基片,其特征在于:邦定用半导体基片、邦定用支撑基片表面上均设置有键合层,邦定用半导体基片和邦定用支撑基片至少一边的键合层上具有规则或无规则分布的微凸块;邦定用半导体基片键合层与邦定用支撑基片键合层通过邦定工艺进行键合。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏微浪电子科技有限公司,未经江苏微浪电子科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201320072667.3/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top