[发明专利]采用小型MEMS镜的宽带可调谐外腔激光器有效
| 申请号： | 201310706006.6 | 申请日： | 2013-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN103633558A | 公开（公告）日： | 2014-03-12 |
| 发明（设计）人： | 傅焰峰;罗勇;张玓;汤学胜;钱坤;唐毅;胡胜磊;胡强高 | 申请（专利权）人： | 武汉光迅科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/14 | 分类号： | H01S5/14;H01S5/06 |
| 代理公司： | 北京天奇智新知识产权代理有限公司 11340 | 代理人： | 陆军 |
| 地址： | 430074 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 申请公开了一种采用小型MEMS镜的宽带可调谐外腔激光器，其包括依次设置的MEMS反射镜（8）、光栅（6）、第一光束准直透镜（2）、半导体光增益器件（1）、第二光束准直透镜（3）、光隔离器（4），其中，所述半导体光增益器件（1）、第一光束准直透镜（2）、MEMS反射镜（8）、光栅（6）构成所述宽带可调谐外腔激光器的谐振腔，并且，所述宽带可调谐外腔激光器还包括驱动控制器（13），其与所述MEMS反射镜（8）、所述半导体光增益器件（1）连接。本申请形成了简化的Littman激光器结构，采用了小型悬臂梁式MEMS反射镜替代传统的大平面镜，实现了Littman激光器的小型化，并能进一步增强MEMS的振动适应性。 | ||
| 搜索关键词： | 采用 小型 mems 宽带 调谐 激光器 | ||
【主权项】：
一种采用小型MEMS镜的宽带可调谐外腔激光器，其包括依次设置的MEMS反射镜（8）、光栅（6）、第一光束准直透镜（2）、半导体光增益器件（1）、第二光束准直透镜（3）、光隔离器（4），其中，所述半导体光增益器件（1）、第一光束准直透镜（2）、MEMS反射镜（8）、光栅（6）构成所述宽带可调谐外腔激光器的谐振腔，并且，所述宽带可调谐外腔激光器还包括驱动控制器（13），其与所述MEMS反射镜（8）、所述半导体光增益器件（1）连接，其中，所述半导体光增益器件（1）用来提供所述宽带可调谐外腔激光器的增益，产生宽带多通道光束，所述第一和第二光束准直透镜（2、3）分别用来形成所述宽带可调谐外腔激光器的谐振腔内部以及输出端的准直多波长光束，所述光隔离器（4）用来透射所述输出端的准直多波长光束，并隔离回波，所述光栅（6）用来将所述谐振腔内部的准直多波长光束分解为按波长具有不同色散角的多个光束，所述驱动控制器（13）用来调节半导体光增益器件（1）的增益，还用来向所述MEMS反射镜（8）提供驱动信号。
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