[发明专利]基板固定装置、基板作业装置以及基板固定方法

摘要

本发明提供一种基板固定装置、基板作业装置以及基板固定方法，在作业位置对由一对搬运部件从下方支撑并沿搬运路径进行搬运的膜状基板进行支撑固定时，可良好地矫正基板的外周部的翘曲。具备使背撑部件（41）和基板按压部件（431、432）中的至少一方升降的升降驱动部，升降驱动部使背撑部件（41）上升及/或使基板按压部件（431、432）与一对输送机（225、226）一起下降，从而由背撑部件（41）从下方支撑基板（FB）并使基板（FB）从一对输送机（225、226）向上方离开，并且由基板按压部件（431、432）向下方按压基板（FB）的外周部表面。

主权项

一种基板固定装置，对由彼此分离配置的一对搬运部件从下方支撑并沿搬运路径进行搬运的膜状的基板，在所述搬运路径的途中的作业位置进行支撑并固定，所述基板固定装置的特征在于，具备：背撑部件，从上方俯视观察时，位于所述一对搬运部件之间，并且位于被搬运到所述作业位置的基板的下方；基板按压部件，位于被搬运到所述作业位置的基板的外周部表面的上方；升降驱动部，使所述背撑部件以及所述基板按压部件中的至少一方升降；以及支撑所述一对搬运部件中的一方的第一搬运框和支撑所述一对搬运部件中的另一方的第二搬运框，作为所述基板按压部件，具有与所述搬运路径平行地分别延伸设置的第一基板按压部件和第二基板按压部件，所述第一基板按压部件以向上方离开所述一对搬运部件中的一方的状态安装于所述第一搬运框上，并且所述第二基板按压部件以向上方离开所述一对搬运部件中的另一方的状态安装于所述第二搬运框上，所述升降驱动部使所述背撑部件上升及/或使所述基板按压部件与所述一对搬运部件一起下降，从而在由所述背撑部件从下方支撑所述基板并使所述基板从所述一对搬运部件向上方离开的状态下由所述第一基板按压部件和所述第二基板按压部件向下方按压所述背撑部件支撑范围以外的所述基板的外周部表面而矫正所述基板的外周部的翘曲。