[发明专利]一种提高透射电子显微镜照射样品成功率的方法无效
| 申请号： | 201310597909.5 | 申请日： | 2013-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN103645204A | 公开（公告）日： | 2014-03-19 |
| 发明（设计）人： | 高林;唐涌耀;陈强;高金德 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/225 | 分类号： | G01N23/225 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 竺路玲 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种提高透射电子显微镜照射样品成功率的方法，通过取样系统中玻璃针的吸附力提取样品以及破损碳膜，摆放在碳膜上表面完好的区域，重新让透射电子显微镜对样品进行拍照，有效地降低了样品的损坏率，改善了透射电子显微镜对样品照射的成功率，降低了流程的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 透射 电子显微镜 照射 样品 成功率 方法 | ||
【主权项】：
一种提高透射电子显微镜照射样品成功率的方法，其特征在于，包括以下步骤：提供一碳膜铜网和一样品，所述碳膜铜网包括碳膜和铜网；将所述样品放置在所述碳膜上表面；在所述样品的放置过程中，当所述碳膜破损、所述样品扭曲时，将扭曲的样品连同破损的碳膜重新提取起来，并放置在所述碳膜上表面完好的区域；用透射电子显微镜对所述样品进行拍照。
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