[发明专利]照射装置及照射方法无效

专利信息
申请号: 201210457173.7 申请日: 2012-11-14
公开(公告)号: CN103107063A 公开(公告)日: 2013-05-15
发明(设计)人: 中村真一;木之下成二 申请(专利权)人: 精工爱普生株式会社
主分类号: H01J61/52 分类号: H01J61/52
代理公司: 北京市中咨律师事务所 11247 代理人: 陈海红;段承恩
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种照射装置及照射方法,能够调整光源的温度从而能够对应光源的特征地良好地维持光源的功能。照射装置,具有:光源,其具有在光源管的内表面的一部分配置的汞齐合金体;和在内部配置有所述光源的腔室,腔室具有:腔室主体;和在腔室主体形成的第一气体流入口及第一气体流出口,第一气体流入口及第一气体流出口以使得光源管中的配设有汞齐合金体的部分的外表面位于从第一气体流入口流入而从第一气体流出口流出的气体的流路之中的方式配设。
搜索关键词: 照射 装置 方法
【主权项】:
一种照射装置,其特征在于,具有:光源,其具备在光源管的内表面的一部分配置的汞齐合金体;在内部配置有所述光源的腔室,所述腔室具有:腔室主体;和在所述腔室主体形成的第一气体流入口及第一气体流出口,所述第一气体流入口及所述第一气体流出口,以使得所述光源管中的配设有所述汞齐合金体的部分的外表面位于从所述第一气体流入口流入而从所述第一气体流出口流出的气体的流路之中的方式配设。
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  • 夏金飞;姜汉兵 - 上海开若纳科技有限公司
  • 2016-12-26 - 2017-07-18 - H01J61/52
  • 本实用新型公开了氙灯,包括高纯石英管、阴极、阳极、插头和散热片,所述高纯石英管可分为弧形管体、第一圆柱接口和第二圆柱接口,所述第一圆柱接口和第二圆柱接口设置在弧形管体的两端上,且第一圆柱接口和第二圆柱接口与弧形管体连通,所述阴极和阳极设置在第一圆柱接口和第二圆柱接口的两端上,且阴极和阳极在第一圆柱接口和第二圆柱接口内通过过渡玻璃进行密封,所述插头设置为两个,且两个插头分别设置在阴极和阳极上,所述散热片设置在插头上。本实用新型插头采用镍杆和第二铜接头结合设计,能够保证电流的稳定性,插头上增添的散热片设计,使散热效果更好;高纯石英管采用高纯石英材料制造,保证了灯使用过程中的光谱一致性。
  • 一种集成冷却装置的高亮度紫外光源-201621017547.3
  • 谢英英;刘锐;何梁;赵嘉峰 - 费勉仪器科技(上海)有限公司
  • 2016-08-31 - 2017-06-06 - H01J61/52
  • 本实用新型提供了一种集成冷却装置的高亮度紫外光源,包括冷却装置、等离子保持器、射频电场聚焦器、密封固定装置。本实用新型装置利用射频聚焦等离子共振技术在局部空间形成高密度的射频电场(电场强度可以达到107V/m),可以直接电离激发等离子,不需要传统的点火装置,简化了系统,提高了实用和稳定性;通过对射频电场聚焦器、等离子保持器尺寸参数、进气参数进行合理配置,可以实现1018photons/(Sr*S)以上级别的紫外光发光强度;本实用新型装置不受传统的工作气体限制,可以使用多种不同的工作气体,发出的紫外光能量可以覆盖4~50eV;另外本实用新型的装置可有10000小时以上的超长使用寿命。
  • 冷却装置-201510848865.8
  • 刘小成 - 深圳市华星光电技术有限公司
  • 2015-11-27 - 2017-05-17 - H01J61/52
  • 本发明提供一种冷却装置,内管、外管、第一接头、第二接头、第一水管道、第二水管道及控制组件,内管套设于外管之内,以在内管与外管之间形成冷却水流道,内管的第一端对应外管的第一端,内管的第二端对应外管的第二端,第一接头连接至内管及外管的第一端,第二接头连接至内管及外管的第二端,第一水管道连接至第一接头,第二水管道连接至第二接头,控制组件连接至第一及第二水管道,用于控制冷却水切换地从第一接头或第二接头流入冷却水流道。因此,本发明避免了大量析出物累积在所述冷却水流道内结晶,从而避免频繁更换内管及外管,提高了设备稼动率。
  • 一种用于复杂气候环境的氙灯水冷却系统-201621229731.4
  • 陈浩 - 广州精秀热工设备有限公司
  • 2016-11-16 - 2017-05-17 - H01J61/52
  • 一种用于复杂气候环境的氙灯水冷却系统,包括纯水冷却系统模块和逆卡诺循环制冷系统模块,两者通过换热器连接进行热交换,其中纯水冷却系统设置了主循环泵、换热器、主过滤器、单向阀、待冷却的水冷式氙灯和气液分离装置,逆卡诺循环制冷系统设置了制冷压缩机、冷凝器、节流元件和换热器。避免了在低温环境下残余的冷却水结冰,保护了水冷式氙灯。本实用新型利用了逆卡诺循环的制冷系统作为强制冷却的冷源,对纯水冷却系统进行冷却,从而间接冷却了氙灯,保证了在高温干旱的环境下,氙灯水冷却系统的正常换热。
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