[发明专利]衬底支撑模块

摘要

本发明提供一种衬底支撑模块，包括：平台，用于在上面安放衬底；支撑物，经安装从而使得支撑物的至少一部分垂直地穿过平台，并且支撑物经配置以通过升高和降低运动在平台上装载和卸载衬底；下部旋转机构，放置在平台内部，并且具有面向彼此安装的第一和第二下部旋转构件，支撑物安置在中央，并且第一和第二下部旋转构件经配置以抵靠支撑物旋转；以及第一上部旋转机构，放置在平台内部的下部旋转机构上方，并且具有面向彼此安装的第一和第二上部旋转构件，支撑物安置在中央，第一和第二上部旋转构件经配置以抵靠支撑物旋转。

主权项

一种衬底支撑模块，包括：平台，用于在上面安放衬底；支撑物，经安装从而使得所述支撑物的至少一部分垂直地穿过所述平台，并且所述支撑物经配置以通过升高和降低运动在所述平台上装载和卸载所述衬底；下部旋转机构，放置在所述平台内部，并且具有第一下部旋转构件和第二下部旋转构件，所述第一下部旋转构件和所述第二下部旋转构件面向彼此安装，所述支撑物安置在中央，并且所述第一下部旋转构件和第二下部旋转构件经配置以抵靠所述支撑物旋转；以及第一上部旋转机构，放置在所述平台内部的所述下部旋转机构上方，并且具有第一上部旋转构件和第二上部旋转构件，所述第一上部旋转构件和所述第二上部旋转构件面向彼此安装，所述支撑物安置在中央，并且所述第一上部旋转构件和所述第二上部旋转构件经配置以抵靠所述支撑物旋转。