[发明专利]自定心定位卡盘及半导体晶圆的定心定位方法

摘要

一种自定心定位卡盘及半导体晶圆的定心定位方法，所述自定心定位卡盘包括托盘、定位组件、中央吸附组件和卡盘外壳，所述托盘上有辐射状分布的、可轴向自由伸缩的伸缩杆，与气源联通的针形气缸通过锥面轴作用于伸缩杆，使伸缩杆伸出；所述伸缩杆的中段套有其推动作用的弹簧，伸缩杆在弹簧的作用下收缩夹持晶圆定心；托盘中心内有吸盘，吸盘可以作上升或旋转运动；所述卡块可夹持和放开晶圆，使晶圆定心；传感器测量晶圆外缘的定位口，对晶圆进行定位。本发明提供了一种对半导体晶圆进行自定心和定位的装置，该装置可应用到IC行业中对芯片进行检测的设备上，也可应用到对晶圆进行加工的设备上。

主权项

一种自定心定位卡盘，包括托盘（7）、卡盘定位组件、中央吸附组件和卡盘外壳，所述卡盘外壳包括底座（23）和中间座套（53），其特征在于：所述托盘（7）为中心有通孔（58）的圆盘，所述圆盘的下端面上有两个同心的内圆环（62.1）和外圆环（62.2），所述内圆环（62.1）和外圆环（62.2）的环壁上分别开有径向的、均匀分布的内通孔（60.1）和外通孔（60.2），所述内通孔（60.1）和外通孔（60.2）的直径相同且内外一一对应；所述卡盘定位组件包括能轴向自由伸缩的伸缩杆（5）和卡块（3），所述伸缩杆（5）穿过内通孔（60.1）和外通孔（60.2），其靠近托盘中心的一端与锥面轴（3）的斜面（61）相适应，另一端紧固有夹持晶圆的卡块（9），所述伸缩杆（5）的中段套有起推动作用的弹簧（6）；所述弹簧（6）的两端分别为伸缩杆（5）的轴肩和外圆环（62.2）内壁面上的卡板（11）；所述锥面轴（3）套在中央吸附组件的外面，其上段为锥面，锥面与轴面的连接部分为水平方向的下端面（55）；所述托盘（7）上还开有轴向的气孔（56），所述气孔（56）通过气管（35）与外部的气源相连通；所述卡盘驱动组件为与外界气源相连通的针形气缸（50）和与锥面轴平行安装的压簧（14）。