[发明专利]一种利用电致发光谱测量氮化物LED内量子效率的方法有效
| 申请号： | 201310529305.7 | 申请日： | 2013-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN103528802A | 公开（公告）日： | 2014-01-22 |
| 发明（设计）人： | 魏学成;赵丽霞;王莉;孔庆峰;卢鹏志;王军喜;曾一平;李晋闽 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种测量氮化物LED内量子效率的方法，包括如下步骤：制作多个氮化物LED测试样品，使之自下至上依次为衬底、n型层、有源区、p型层和ITO层；从各测试样品表面到n型层刻蚀出一个台面，在该台面上蒸镀上n电极，在ITO层表面蒸镀p电极，在除电极外四周其它区域蒸镀一层光吸收抑制层，在各测试样品表面中心位置光刻出一定孔径的出光孔；计算测试样品的光提取效率；利用积分球测量各测试样品，获得在不同电流密度下的不同孔径内的光功率；通过光功率计算测试样品的外量子效率，并通过所得到的光提取效率计算内量子效率。本发明能够消除光致发光谱测量内量子效率带来的负面影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 电致发光 测量 氮化物 led 量子 效率 方法 | ||
【主权项】：
一种测量氮化物LED内量子效率的方法，包括如下步骤：S1、制作多个氮化物LED测试样品，所述测试样品自下至上依次为衬底、n型层、有源区、p型层和ITO层；从所述测试样品表面到n型层刻蚀出一个台面，在该台面上蒸镀上n电极，在ITO层表面蒸镀p电极，在除电极外四周其它区域蒸镀一层光吸收抑制层；S2、在各所述测试样品表面中心位置光刻出一定孔径的出光孔，各所述测试样品的出光孔孔径不同；S3、计算所述各测试样品的光提取效率；S4、利用积分球测量各所述测试样品，获得在不同电流密度下的不同孔径内的光功率；S5、通过步骤S4测量得到的光功率计算所述测试样品的外量子效率，并通过所得到的光提取效率计算内量子效率。
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