[发明专利]非金属衬底表面制备氮掺杂石墨烯的方法

摘要

一种非金属衬底表面制备氮掺杂石墨烯的方法，首先清洗非金属衬底的表面，然后将其放入管式CVD系统中的高温区部分；接着将炉温在15-30分钟内升高到600-1000℃之间，并该过程中通入空气，并在上述温度范围内维持20-60分钟，随后缓慢降低炉温，使其达到室温；然后将炉内空气排除干净；接着在以氢气和高纯氩气为载气的情况下，于40-120分钟的时间内将炉温升高到1050-1500℃之间，并将非金属衬底在该温度下保持10-30分钟；然后通入含碳、氮源的气体进行氮掺杂石墨烯的生长，并在该温度下维持30-300分钟；最后停止加热，将炉温缓慢降低到室温。该方法避免了后续转移过程中杂质的引入。

主权项

一种非金属衬底表面制备氮掺杂石墨烯的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1）清洗具有一定表面形貌特征的非金属衬底的表面；步骤2）在所述非金属衬底表面制备氮掺杂石墨烯膜，主要包括以下步骤：201）将所述的清洗干净的非金属衬底放入管式CVD系统中的高温区部分；202）将炉温在15‑30分钟内升高到600‑1000℃之间，并该过程中通入空气，并在炉温达到所设定600‑1000℃温度之间后维持20‑60分钟，随后缓慢降低炉温，使其达到室温；203）将炉内空气排除干净；204）在以氢气和高纯氩气为载气的情况下，于40‑120分钟的时间内将炉温升高到1050‑1500℃之间，并将所述非金属衬底在该温度下保持10‑30分钟；205）通入含碳、氮源的气体进行氮掺杂石墨烯的生长，并在1050‑1500℃温度下维持30‑300分钟；206）停止加热，将炉温缓慢降低到室温。