[发明专利]用于基板加工的给料系统以及基板切割机有效
申请号: | 201310441730.0 | 申请日: | 2013-09-25 |
公开(公告)号: | CN103496845A | 公开(公告)日: | 2014-01-08 |
发明(设计)人: | 庞春明 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | C03B33/03 | 分类号: | C03B33/03 |
代理公司: | 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) 44240 | 代理人: | 邢涛 |
地址: | 518000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开一种用于基板加工的给料系统以及基板切割机:包括:取料装置,其包括升降装置以及设置在所述升降装置一端真空吸盘,所述升降装置将所述真空吸盘推向进料位置的基板,通过真空吸盘吸附所述基板使其固定在所述真空吸盘上进行取料;还包括送料装置,其与所述取料装置连接,用以将所述取料装置及其吸附的基板推送至加工位置。由于真空吸盘采用的是吸附基板的一个面来实现取料,相对于夹头取料的方式,不需要调整夹头的夹紧间距,维护简单,另外,由于没有夹头,从而也没有垫片的磨耗,真空吸盘不会因为垫片的磨耗导致抓取失败,这样就提高了设备的运行效率以及产能,另外,还节约了大量用于夹头上的垫片,因此也节约了大量的成本。 | ||
搜索关键词: | 用于 加工 系统 以及 切割机 | ||
【主权项】:
一种用于基板加工的给料系统,其特征在于,包括:取料装置(100),其包括升降装置(110)以及设置在所述升降装置(110)一端的真空吸盘(120),所述升降装置(110)用于将所述真空吸盘推向进料位置的基板(700),通过真空吸盘(120)吸附所述基板(700)使其固定在所述真空吸盘(700)上进行取料;送料装置(200),其与所述取料装置(100)连接,用于将所述取料装置(100)及其吸附的基板(700)推送至加工位置。
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