[发明专利]用于基板加工的给料系统以及基板切割机有效
申请号: | 201310441730.0 | 申请日: | 2013-09-25 |
公开(公告)号: | CN103496845A | 公开(公告)日: | 2014-01-08 |
发明(设计)人: | 庞春明 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | C03B33/03 | 分类号: | C03B33/03 |
代理公司: | 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) 44240 | 代理人: | 邢涛 |
地址: | 518000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 加工 系统 以及 切割机 | ||
1.一种用于基板加工的给料系统,其特征在于,包括:
取料装置(100),其包括升降装置(110)以及设置在所述升降装置(110)一端的真空吸盘(120),所述升降装置(110)用于将所述真空吸盘推向进料位置的基板(700),通过真空吸盘(120)吸附所述基板(700)使其固定在所述真空吸盘(700)上进行取料;
送料装置(200),其与所述取料装置(100)连接,用于将所述取料装置(100)及其吸附的基板(700)推送至加工位置。
2.如权利要求1所述的用于基板加工的给料系统,其特征在于,所述真空吸盘(120)包括:一盘体(121)以及设置在盘体(121)的吸真空装置(122),所述盘体(121)表面设置有多个气孔(123),所述气孔(123)与所述吸真空装置(122)连通。
3.如权利要求1所述的用于基板加工的给料系统,其特征在于,所述升降装置(110)包括一推料气缸(111),所述真空吸盘(120)设置在所述推料气缸(111)的推杆(112)上。
4.如权利要求1所述的用于基板加工的给料系统,其特征在于,所述送料装置(200)包括:螺杆(220)、用于驱动所述螺杆(220)的驱动马达(210)以及一导轨(230);所述取料装置(100)设置有与所述螺杆(220)连接的螺母(130),以及一设置在所述导轨(230)上的滑块(150)。
5.如权利要求4所述的用于基板加工的给料系统,其特征在于,所述螺杆(220)与所述驱动马达(210)直联。
6.一种基板切割机,包括给料系统(1),其特征在于,所述给料系统(1)包括:
取料装置(100),其包括升降装置(110)以及设置在所述升降装置一端的真空吸盘(120),所述升降装置(110)用于将所述真空吸盘推向进料位置的基板(700),通过真空吸盘(120)吸附所述基板(700)使其固定在所述真空吸盘(700)上进行取料;
送料装置(200),其与所述取料装置(100)连接,用于将所述取料装置(100)及其吸附的基板(700)推送至加工位置。
7.如权利要求6所述的基板切割机,其特征在于,所述真空吸盘(120)包括:一盘体(121)以及设置在盘体(121)的吸真空装置(122),所述盘体(121)表面设置有多个气孔(123),所述气孔(123)与所述吸真空装置(122)连通。
8.如权利要求6所述的基板切割机,其特征在于,所述升降装置(110)包括一推料气缸(111),所述真空吸盘(120)设置在所述推料气缸(111)的推杆(112)上。
9.如权利要求6所述的用于基板切割机,其特征在于,所述送料装置(200)包括:螺杆(220)、用于驱动所述螺杆(220)的驱动马达(210)以及一导轨(230);所述取料装置(100)设置有与所述螺杆(220)连接的螺母(130),以及一设置在所述导轨(230)上的滑块(150)。
10.如权利要求9所述的用于基板切割机,其特征在于,所述螺杆(220)与所述驱动马达(210)直联。
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