[发明专利]对准装置有效
| 申请号： | 201310429313.4 | 申请日： | 2013-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN104460248B | 公开（公告）日： | 2019-05-31 |
| 发明（设计）人： | 陆海亮;王帆 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种对准装置包括：光源，提供照明光束；反射面，设置于对准标记上方，使对准标记产生的一个方向上的各级次衍射光偏转后与另一个方向上对应的各级次衍射光平行；汇聚透镜，将对应的正负级次衍射光干涉成像到其焦面；探测模块，位于汇聚透镜的焦面，探测多级次的干涉图像的信号；运动台，用于承载对准标记，实现对对准标记的扫描测量；控制模块，与所述运动台与探测模块分别相连，并同步控制运动台和探测模块。本发明通过采用单一的反射面的结构，代替现有技术中复杂的楔块列阵（或楔板组），降低了系统加工制造和装调的难度，并且避免了由于楔块列阵加工制造误差引起的各级次干涉条纹图像不一致和倍率偏差的情况发生。 | ||
| 搜索关键词： | 对准 装置 | ||
【主权项】：
1.一种对准装置，包括：光源，提供照明光束；反射面，设置于对准标记上方，使对准标记产生的一个方向上的各级次衍射光偏转后与另一个方向上对应的各级次衍射光平行，将各正负级次干涉成像位置在空间上分离，且各正负级次干涉成像被不同的探测器对应分别探测；汇聚透镜，将对应的正负级次平行衍射光干涉成像到其焦面；探测模块，位于汇聚透镜的焦面，探测多级次的干涉图像的信号；运动台，用于承载对准标记，实现对对准标记的扫描测量；控制模块，与所述运动台与探测模块分别相连，并同步控制运动台。
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