[发明专利]一种共聚焦测量涂镀层厚度的方法

摘要

本发明提供一种共聚焦测量涂镀层厚度的方法，采用机械手段在涂镀层表面钻出圆锥型小孔，利用激光共聚焦显微镜三维成像技术对剖面为V型孔进行成像处理，采用共聚焦高度差测量功能测量V型孔内涂镀层与基板结合部和涂镀层外表面之间的高度差，从而分别确定彩涂涂层面漆厚度、热浸镀层厚度及彩涂涂层底漆厚度。本发明勿须考虑圆锥度等问题，可真实再现涂镀层厚度，极大提高测量精度，并可测量微区涂镀层厚度，考查涂镀层的均匀性。根据涂镀层与基板的自身特点略加改变，本发明方法可适用于电镀层、PVD镀层、CVD镀层等多种类型涂镀层厚度测量。

主权项

一种共聚焦测量涂镀层厚度的方法，其特征在于，采用机械手段在涂镀层表面钻出圆锥型小孔，利用激光共聚焦显微镜三维成像技术对剖面为V型孔进行成像处理，采用共聚焦高度差测量功能测量V型孔内涂镀层与基板结合部和涂镀层外表面之间的高度差，从而确定涂镀层厚度；其具体操作步骤为：（1）、彩涂涂层面漆厚度测量：a、利用V型钻头在钢板涂层表面钻出锥度在15°～60°的圆锥型小孔，孔深延伸到基板内部；b、将V型孔放在激光共聚焦显微镜载物台上，在可见光模式下进行聚焦，使图像清晰地出现在图像显示区域里，将可见光模式切换为激光模式；c、在激光模式下对V型孔区域进行逐层扫描，得到V孔区的二维形貌图；d、对二维形貌图进行滤波处理和噪音消除处理，将二维形貌图切换为三维形貌，得到V型孔区域的三维实物形貌；e、激光共聚焦测量：涂层面漆厚度测量：选取V型孔内涂层底部与基板结合部的测量点，测量该点与涂层外表面之间的高度差，即为待测涂层的厚度； （2）、热浸镀层层厚测量：a、V型孔腐蚀处理；采用0.5～2vol%硝酸酒精对V型孔区域进行腐蚀处理，用酒精将V型孔区域清洗干净，使镀层和基板在共聚焦显微镜下呈现不同色差或形貌；b、将V型孔放在激光共聚焦显微镜载物台上，在可见光模式下进行聚焦，使图像清晰地出现在图像显示区域里，将可见光模式切换为激光模式；c、在激光模式下对V型孔区域进行逐层扫描，得到V孔区的二维形貌图；d、对二维形貌图进行滤波处理和噪音消除处理，将二维形貌图切换为三维形貌图，得到V型孔区域的三维实物形貌；e、激光共聚焦测量：镀层厚度测量：选取V型孔内镀层底部与基板结合部的测量点，测量该点与镀层外表面之间的高度差，即为待测镀层的厚度；（3）彩涂涂层底漆厚度测量：a、将V型孔放在激光共聚焦显微镜的载物台上，在可见光模式下进行聚焦，使图像清晰地出现在图像显示区域里，将可见光模式切换为激光模式；b、在激光模式下对V型孔区域进行逐层扫描，得到V孔区的二维形貌图；c、对二维形貌图进行滤波处理和噪音消除处理，将二维形貌图切换为三维形貌图，得到V型孔区域的三维实物形貌；d、激光共聚焦测量：彩涂涂层底漆厚度测量：测量基板与面漆之间的底漆厚度时，直接选取V型孔内底漆与基板结合部的测量点和底漆与面漆结合部的测量点，测量该两点之间的高度差，即为底漆的厚度。