[发明专利]喷淋头、气相沉积设备以及热壁板替换方法

摘要

本发明揭示了一种喷淋头，包括喷淋头体、至少一个气体腔、冷却腔和热壁板，所述热壁板间隔设置于所述喷淋头体的下方，所述热壁板通过若干扣合机构的扣合作用固定于所述喷淋头体下方，所述扣合机构可以通过伸入到所述反应腔中的一机械手解除扣合，从而使得所述热壁板从所述喷淋头体分离。本发明还提供一种包含上述喷淋头的气相沉积设备以及该气相沉积设备的热壁板替换方法。本发明提供的喷淋头可以使用一机械手将所述扣合机构扣合或解除扣合，从而将所述热壁板安装到所述喷淋头体上，或将所述热壁板从所述喷淋头体上卸载下来，以方便地自动更换所述热壁板。

主权项

一种喷淋头，用于金属有机物化学气相沉积工艺的反应腔，所述喷淋头包括：喷淋头体，所述喷淋头体具有至少一个气体腔和冷却腔；其中，所述冷却腔位于所述至少一个气体腔下方，所述每个气体腔皆具有多个气体管道贯穿所述冷却腔和所述喷淋头体的下表面；其特征在于，所述喷淋头还包括一热壁板，所述热壁板间隔设置于所述喷淋头体的下方，所述热壁板通过若干扣合机构的扣合作用固定于所述喷淋头体下方，所述扣合机构可以通过伸入到所述反应腔中的一机械手解除扣合，从而使得所述热壁板从所述喷淋头体分离。