[发明专利]用于在衬底上形成黄铜矿层的装置和方法

摘要

一种方法通常包括：给至少一个缓冲室中的衬底供热，并且经由传送机将衬底传送至连接至缓冲室的至少一个沉积室。该方法还包括：使用溅射，将第一组多种元素沉积在沉积室中的衬底的至少一部分上，并且使用蒸发，将第二组多种元素沉积在沉积室中的衬底的至少一部分上。本发明还提供了用于在衬底上形成黄铜矿层的装置和方法。

主权项

一种用于在衬底上形成黄铜矿层的方法，所述方法包括：向至少一个缓冲室中的衬底供热；将所述衬底传送至经由传送机与所述至少一个缓冲室连接的至少一个沉积室；以及在所述至少一个沉积室中，使用溅射将第一组多种元素沉积在所述衬底的至少一部分上，并且使用蒸发将第二组多种元素沉积在所述衬底的至少一部分上。