[发明专利]多轴真空机械手轴系精度测试装置

摘要

本发明提供了一种结构简单，拆装方便，实用性强的多轴真空机械手轴系测试装置。该装置包括测试台，机械手直驱单元，角度编码器安装支架，角度编码器，连接法兰及激光位移检测装置。机械手直驱单元通过法兰安装在测试台上。角度编码器安装支架一端通过螺栓固定于测试台，另一端则通过螺栓安装角度编码器。连接法兰一端与机械手直驱单元轴系相连，另一端则由柔性联轴器将其与角度编码器轴相连。柔性联轴器补偿轴向运动和编码器轴与连接法兰间的不对正误差，避免角度编码器的轴承受力过大。激光位移检测装置由两个激光位移传感器与二维移动平台组成，可以调整测量范围。本发明具有测量精度高、测试操作方便、适用范围广泛且测试成本低的优点。

主权项

一种多轴真空机械手轴系精度测试装置，其特征在于，包括：测试台（1）、机械手直驱单元（2）、连接法兰（3）、柔性联轴器（4）、角度编码器（5）、角度编码器安装支架（6）和激光位移检测装置（7），所述角度编码器安装支架（6）与所述测试台（1）连接，所述角度编码器（5）与所述角度编码器安装支架（6）连接；所述连接法兰设置在所述测试台（1）上下两端分别连接所述柔性联轴器（4）和机械手直驱单元（2），所述柔性联轴器（4）与所述角度编码器（5）连接，所述激光位移检测装置（7）与所述连接法兰（3）连接。