[发明专利]一种化学水浴沉积硫化镉薄膜的方法及装置

摘要

本发明公开了一种化学水浴沉积硫化镉薄膜的方法及装置，所述方法包括以下步骤：（1）清洗衬底并吹干；（2）安装衬底；（3）预热衬底；（4）配置溶液；（5）反应沉积；（6）后续处理：将镀膜衬底用去离子水冲洗，然后吹干或烘干。所述装置包括反应容器和恒温箱，漫淋槽、衬底、专用夹具和传输装置均置于恒温箱内，反应溶液流经加热器后注入漫淋槽，专用夹具与衬底底部设有传输装置。本发明不采用恒温水浴装置、搅拌装置和超声波辅助沉积，适于连续化生产，提高了生产效率并且对衬底仅单面镀膜，改善了衬底镀膜后的美观度，沉积的硫化镉薄膜均匀且致密，成膜质量高，满足薄膜太阳能电池缓冲层需要。

主权项

一种化学水浴沉积硫化镉薄膜的方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：（1）清洗衬底：将衬底清洗干净，然后吹干；（2）安装衬底：将衬底置于夹具上，并将衬底与水平面之间的夹角设定在3°～60°之间；（3）预热衬底：将衬底通过恒温箱加热，将恒温箱内环境温度维持在55～90℃之间以预热衬底，使得预热后的衬底温度与设定的溶液反应温度之间的温差控制在±10℃以内；（4）配置溶液：将镉盐、氨水、缓冲剂、硫脲、去离子水按一定比例混合制成反应溶液，然后兑入反应容器中；（5）反应沉积：用水泵将反应溶液抽出，反应溶液流经加热器并被快速加热至反应温度60～85℃之间，采用漫淋方式使反应溶液在衬底上均匀铺展并持续流过，在化学反应的作用下，硫化镉薄膜生长至所需厚度，总的反应时间为10～50min；（6）后续处理：通过传输装置将夹具与镀膜衬底同时移至另一位置，采用去离子水冲洗，然后将清洗后的衬底移至干燥装置内进行吹干或烘干。