[发明专利]一种去除遮罩上有机或脏污的装置无效
| 申请号： | 201310284540.2 | 申请日： | 2013-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN104275324A | 公开（公告）日： | 2015-01-14 |
| 发明（设计）人： | 闾俊中;陈弘舜;余国正 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/08;B08B3/12 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 黄嵩泉;吕俊清 |
| 地址： | 201500 上海市金山区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明揭示一种去除遮罩上有机或脏污的装置，其包括：槽体，所述槽体用于放置金属遮罩；夹具，所述夹具固定所述金属遮罩；其特征在于，所述装置还包括：喷洒机构，所述喷洒机构连接一药液储存装置，所述喷洒机构将所述药液储存装置中的药液喷洒至所述金属遮罩对其进行清洗；所述槽体的底部设有一排液口，所述喷洒机构喷洒的药液清洗所述金属遮罩后从所述排液口流出所述槽体。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 去除 遮罩上 有机 脏污 装置 | ||
【主权项】：
一种去除遮罩上有机或脏污的装置，其包括：槽体，所述槽体用于放置金属遮罩；夹具，所述夹具固定所述金属遮罩；其特征在于，所述装置还包括：喷洒机构，所述喷洒机构连接一药液储存装置，所述喷洒机构将所述药液储存装置中的的药液喷洒至所述金属遮罩对其进行清洗；所述槽体的底部设有一排液口，所述喷洒机构喷洒的药液清洗所述金属遮罩后从所述排液口流出所述槽体。
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