[发明专利]印刷抗蚀剂用活性能量线固化型树脂组合物及其抗蚀图案

摘要

本发明的目的是提供一种印刷抗蚀剂层，所述印刷抗蚀剂层可通过印刷形成图案，不需要烧制固化、干燥步骤，经紫外线固化后可对铜、铝等导体具有附着性，能耐受蚀刻步骤和电解电镀步骤，之后还能够简单地剥离。上述目的通过如下手段来实现：该树脂组合物的特征在于含有缩合物（A）和化合物（B），所述缩合物（A）是通式（1）R₁Si(OR₂)₃所示的含有巯基的烷氧基硅烷（a1）水解（除R₂全部为氢原子的情况外）、缩合得到的，所述通式（1）中，R₁表示具有至少一个巯基的碳原子数1～4的烃基，R₂表示氢原子或碳原子数1～4的烃基，所述化合物（B）在分子中具有至少一个羧基和至少一个碳碳双键。

主权项

1.一种通过印刷方式形成图案的印刷抗蚀剂用活性能量线固化型树脂组合物，其特征在于，所述树脂组合物含有缩合物(A)和化合物(B)，所述缩合物(A)是通式(1)R₁Si(OR₂)₃所示的含有巯基的烷氧基硅烷(a1)水解、缩合得到的，所述通式(1)中，R₁表示具有至少一个巯基的碳原子数1～4的烃基，R₂表示氢原子或碳原子数1～4的烃基，所述水解是除R₂全部为氢原子的情况外的水解，所述化合物(B)在分子中具有至少一个羧基和至少一个碳碳双键，[所述化合物(B)中含有的碳碳双键的摩尔数]/[所述缩合物(A)中含有的巯基的摩尔数](摩尔比)为0.9～100。