[发明专利]印刷抗蚀剂用活性能量线固化型树脂组合物及其抗蚀图案

权利要求书

1.一种通过印刷方式形成图案的印刷抗蚀剂用活性能量线固化型树脂组合物，其特征在于，所述树脂组合物含有缩合物(A)和化合物(B)，所述缩合物(A)是通式(1)R₁Si(OR₂)₃所示的含有巯基的烷氧基硅烷(a1)水解、缩合得到的，所述通式(1)中，R₁表示具有至少一个巯基的碳原子数1～4的烃基，R₂表示氢原子或碳原子数1～4的烃基，所述水解是除R₂全部为氢原子的情况外的水解，所述化合物(B)在分子中具有至少一个羧基和至少一个碳碳双键，[所述化合物(B)中含有的碳碳双键的摩尔数]/[所述缩合物(A)中含有的巯基的摩尔数](摩尔比)为0.9～100。

2.如权利要求1所述的印刷抗蚀剂用活性能量线固化型树脂组合物，其中，所述缩合物(A)含有作为其构成成分的、不具有巯基的金属醇盐(a2)。

3.如权利要求1所述的印刷抗蚀剂用活性能量线固化型树脂组合物，其中，作为构成成分，含有不具有羧基、但具有至少两个碳碳双键的化合物(C)，[所述化合物(B)和所述化合物(C)中含有的碳碳双键的摩尔数]/[所述缩合物(A)中含有的巯基的摩尔数](摩尔比)为0.9～100。

4.如权利要求2所述的印刷抗蚀剂用活性能量线固化型树脂组合物，其中，作为构成成分，含有不具有羧基、但具有至少两个碳碳双键的化合物(C)，[所述化合物(B)和所述化合物(C)中含有的碳碳双键的摩尔数]/[所述缩合物(A)中含有的巯基的摩尔数](摩尔比)为0.9～100。

5.如权利要求1～4中任一项所述的印刷抗蚀剂用活性能量线固化型树脂组合物，其中，作为构成成分，含有重均分子量1000～50000的、由含有烯属不饱和基团的单体聚合成的聚合物(F)。

6.一种抗蚀图案的形成方法，其特征在于，将权利要求1～5中任一项所述的印刷抗蚀剂用活性能量线固化型树脂组合物印刷在衬底上，使所述组合物固化而形成。

7.一种印刷抗蚀剂层压体，所述印刷抗蚀剂层压体通过权利要求6中所述的抗蚀图案的形成方法获得。

8.一种印刷电路板，所述印刷电路板是将权利要求7中所述的印刷抗蚀剂层压体蚀刻后，进一步剥离印刷抗蚀剂而获得。