[发明专利]水电极大气等离子体加工大口径非球面光学零件的装置

摘要

水电极大气等离子体加工大口径非球面光学零件的装置，它属于等离子体加工大口径非球面光学零件的技术领域。它是为了解决高精度大口径非球面光学零件的加工效率和表面质量问题。它的成形电极的上端面连接在工作架上；在待加工零件的下方设置的所有喷头喷出的水都喷射到待加工光学零件的下端面上，所有喷头喷出的水都接地；成形电极靠近待加工光学零件的待加工表面；放电间隙附近设置有出气管，出气管的进气端口与混合等离子体气源的出气端口导气连通。本发明采用直线式排列的水射流作为电极来进行等离子体加工，多条水射流可以保证在每条直线上的放电特性相同，避免放电不均匀的问题。

主权项

水电极大气等离子体加工大口径非球面光学零件的装置，其特征在于它由成形电极（1）、升降装置（2）、射频电源（3）、混合等离子体气源（5）、水泵（6）组成；成形电极（1）的上端面绝缘连接在升降装置（2）的竖直运动工作架（2‑1）上，使成形电极（1）与射频电源（3）的输出端连接作为大气等离子体放电的阳极；将待加工光学零件（4）装卡在夹具（2‑2）上，在待加工零件（4）的下方设置有直线排列的一排喷头（2‑3），所有喷头（2‑3）都设置在多自由度运动工作台（2‑4）上，所有喷头（2‑3）的进水口都连接水泵（6）的出水口，使待加工光学零件（4）的下端面与所有喷头（2‑3）的喷嘴口之间有一定的间隙，间隙的距离为1mm‑50mm；根据去除函数半高宽的要求，所有喷头（2‑3）的喷嘴口的直径可在0.5mm‑50mm范围内调节；所有喷头（2‑3）喷出的水都喷射到待加工光学零件（4）的下端面上，所有喷头（2‑3）喷出的水都通过喷头（2‑3）接地作为大气等离子体放电的阴极；成形电极（1）靠近待加工光学零件（4）的待加工表面，并使它们之间保持一定的放电间隙，放电距离范围为2mm‑5mm；放电间隙附近设置有出气管（5‑1），出气管（5‑1）的进气端口与混合等离子体气源（5）的出气端口导气连通。