[发明专利]一种渐变光学厚度窄带负滤光片膜系

摘要

本发明涉及一种用于光学滤波的渐变光学厚度负滤光片膜系。该膜系应用光学厚度呈函数渐变的主膜系及匹配膜系构建了窄带高反射、两侧宽带高透射的高性能负滤光片。本发明提出的膜系结构采用两种折射率材料，各膜层光学厚度适合常规薄膜监控方式，相比原有渐变折射率及等效层负滤光片具有更高的可制备性。由本发明构建的窄带负滤光片具有材料选择范围广、能实现频带宽、制作成本低、易于推广等优点，在光电探测器、激光防护、光谱学等领域具有广泛应用前景。

主权项

1.一种渐变光学厚度的窄带负滤光片膜系，其特征在于自下而上包括基板(1)、沉积在基板(1)上的第一薄膜(2)、位于第一薄膜(2)上的第二薄膜(3)以及位于第二薄膜(3)上的第三薄膜(4)，第一薄膜(2)为基板侧匹配薄膜，第三薄膜(4)为空气侧匹配薄膜，第一薄膜(2)、第二薄膜(3)和第三薄膜(4)均由高折射率材料膜层H和低折射率材料膜层L交替构成，第一薄膜(2)、第二薄膜(3)和第三薄膜(4)连接处为高折射率材料膜层H和低折射率材料膜层L交替设置，第一薄膜(2)的低折射率材料膜层L位于基板(1)上方，第三薄膜(4)的最后一层为低折射率材料膜层L，其中：第二薄膜(3)的高折射率材料膜层H和低折射率材料膜层L光学厚度分别呈相反趋势逐渐变化，用函数表示为：，其中A代表最大的光学厚度差，s为总膜层数，l为膜层序数，λ为反射带中心波长。