[发明专利]光刻机设备用离轴照明装置

摘要

一种光刻机设备用离轴照明装置，其特点在于该装置包括照明单元、衍射光学元件单元、变焦准直镜组、四分之一波片、负轴锥镜、45°旋光片和正轴锥镜；所述的照明单元由准分子激光器和扩束准直镜组组成。本发明对光刻机可实现双环照明，双二极照明，双四极照明。

主权项

一种光刻机设备用离轴照明装置，其特征在于该装置包括照明单元、衍射光学元件单元（301）、变焦准直镜组（302）、四分之一波片（401）、负轴锥镜（501）、45°旋光片（402）和正轴锥镜（502）；所述的照明单元由准分子激光器（101）和扩束准直镜组（201、202）组成；上述元件的位置关系如下：沿着所述的准分子激光器（101）的激光传输方向，依次是同光轴的扩束准直镜组（201、202）、衍射光学元件单元（301）、变焦准直镜组（302）、四分之一波片（401）、负轴锥镜（501）、旋光器（402）、正轴锥镜（502），所述的负轴锥镜（501）、旋光器（402）和正轴锥镜（502）位于所述的变焦准直镜组（302）的后焦面（601）之前；所述的衍射光学元件单元（301）位于所述的变焦准直镜组（302）的前焦面处；所述的负轴锥镜（501）锥面的内环镀有增透膜，该薄膜的外半径略大于入射光束半径；该负轴锥镜锥面外环上镀的高反射薄膜，该高反射膜是全反射相位延迟薄膜，该薄膜的内半径等于所述的增透膜的外半径，外半径等于负轴锥镜的通光口径；所述的正轴锥镜（502）的偏振分光薄膜，镀在锥面上，并完全覆盖整个锥面，所述的四分之一波片（401）的快轴与入射光的偏振方向成45°角；所述的正轴锥镜（502）安装在一个沿光轴方向移动的高精度直线导轨上。