[发明专利]用于激光等离子体极紫外光刻光源的光谱纯化滤波装置有效
| 申请号： | 201310093540.4 | 申请日： | 2013-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN103149618A | 公开（公告）日： | 2013-06-12 |
| 发明（设计）人： | 张运波;曾爱军;黄惠杰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B5/20 | 分类号： | G02B5/20;G02B5/18;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种用于激光等离子体极紫外光刻光源的光谱纯化滤波装置，特点在于其构成依次包括表面镀膜的第一光栅、对于13.5nm光谱具有高透过率的薄金属片和表面镀膜的第二光栅，所述的第一光栅、第二光栅与薄金属片表面互相平行，第一光栅和第二光栅的线条方向相互垂直，光栅常数为10～150nm，占空比为40%～60%，厚度为1～10mm。薄金属片由锆或钼制成，厚度0.1～5mm。本发明装置结构简单，使激光等离子体辐射的光谱纯化。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 激光 等离子体 紫外 光刻 光源 光谱 纯化 滤波 装置 | ||
【主权项】：
一种用于激光等离子体极紫外光刻光源的光谱纯化滤波装置，特征在于其构成依次包括表面镀膜的第一光栅（11）、对于13.5nm光谱具有高透过率的薄金属片（12）和表面镀膜的第二光栅（13），所述的第一光栅（11）、薄金属片（12）和第二光栅（13）的表面三者平行，第一光栅（11）和第二光栅（13）具有相同的结构，第一光栅（11）和第二光栅（13）的线条方向相互垂直，光栅常数为10～150nm，占空比为40%～60%，厚度为1～10mm。
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