[发明专利]用于主动地监测电感耦合等离子体离子源的方法和设备无效
| 申请号： | 201310087623.2 | 申请日： | 2013-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN103325650A | 公开（公告）日： | 2013-09-25 |
| 发明（设计）人： | M.W.乌特劳特;S.克罗格;N.W.帕克;A.格劳佩拉;S.张;P.布伦达奇;D.基尼安 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 王岳;卢江 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及用于主动地监测电感耦合等离子体离子源的方法和设备。一种用于主动地监测等离子体源的状况以实现源的调整和控制以及检测等离子体反应室中的不需要的污染物种类的存在的方法和设备。优选实施例包括用于量化等离子体的成分的光谱仪。提供系统控制器，系统控制器基于等离子体的光谱分析来使用反馈控制回路以调节等离子体源的离子组成。该系统还提供基于光谱分析的用于确定等离子体源的清洁何时完成的终点装置。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 主动 监测 电感 耦合 等离子体 离子源 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种带电粒子束系统，包括：等离子体源，包括用于包含等离子体的等离子体管；导体，用于把射频能量提供到等离子体管中；聚焦镜筒，用于把带电粒子束聚焦在样本上或聚焦在样本附近；和第一光谱仪，用于收集从等离子体管内发射的光。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于FEI公司，未经FEI公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310087623.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
