[发明专利]基板处理装置

摘要

本发明提供一种能够提高基板处理装置的处理能力的技术。基板处理装置（1）具有配置在清洗处理区（20）和分度器区（10）之间的连接部分的交接单元（30）。交接单元（30）具有：翻转用支撑部（701），其以水平姿势支撑基板（W）；输送支撑部（601a），其在上下方向上与翻转用支撑部（701）隔开间隔地配置，并且以水平姿势支撑基板（W）；夹持翻转机构（80），其使支撑在翻转用支撑部（701）上的基板（W）翻转，并且使翻转后的基板（W）再次支撑在翻转用支撑部（701）上。在此，支撑在输送支撑部（601a）上的基板（W）的一部分，配置在由夹持翻转机构（80）使基板（W）翻转的翻转区域M内。

主权项

一种基板处理装置，其特征在于，具有：处理部，其具有对基板的表面进行清洗的表面清洗部、对基板的背面进行清洗的背面清洗部、第一搬送机械手，分度器部，其具有第二搬送机械手，该分度器部将未处理的基板递给上述处理部，并且从上述处理部接收已处理的基板，交接单元，其配置在上述处理部和上述分度器部之间的连接部分上；上述交接单元具有：第一支撑部，其将基板支撑为水平姿势，第二支撑部，其在上下方向上与上述第一支撑部隔开间隔地配置，并将基板支撑为水平姿势，翻转机构，其使支撑在上述第一支撑部上的基板翻转，并将翻转后的基板再次支撑在上述第一支撑部上；支撑于上述第二支撑部上的基板的一部分，配置在由上述翻转机构翻转的基板的翻转区域内。