[发明专利]硬质基板层叠体的加工方法及紧固夹具在审

专利信息
申请号: 201310080260.X 申请日: 2013-03-13
公开(公告)号: CN104045240A 公开(公告)日: 2014-09-17
发明(设计)人: 江田幸雄;武间淳一郎;栗村启之;伊林敏成 申请(专利权)人: 电气化学工业株式会社
主分类号: C03C15/00 分类号: C03C15/00;H01L21/02;H01L21/687
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 苗堃;陈剑华
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种良好地抑制利用蚀刻进行玻璃基板等硬质基板层叠体的外形加工时由蚀刻液引起的表面层的侵蚀、且高效地加工玻璃基板等硬质基板层叠体的方法。一种硬质基板层叠体的加工方法,其包括以下工序:准备硬质基板层叠体的工序,所述硬质基板层叠体是将2片以上的硬质基板彼此用粘接剂贴合,上述硬质基板的至少1片在基板表面具备选自金属层、树脂层、二氧化硅层、有机硅酸盐层以及透明电极层中的任1种或2种以上,且所述硬质基板层叠体进行了规定的倒角;和将上述进行了倒角的硬质基板层叠体在用紧固夹具固定的状态下浸渍于上述蚀刻液中进行蚀刻的工序,所述紧固夹具将上述层叠体的上述两表面的整面在厚度方向进行按压。
搜索关键词: 硬质 层叠 加工 方法 紧固 夹具
【主权项】:
一种硬质基板层叠体的加工方法,其特征在于,包括以下工序:准备硬质基板层叠体的工序,所述硬质基板层叠体是将2片以上的硬质基板彼此用粘接剂贴合,所述硬质基板的至少1片在基板表面具备选自金属层、树脂层、二氧化硅层、有机硅酸盐层以及透明电极层中的任1种或2种以上,且所述硬质基板层叠体进行了规定的倒角;和将所述进行了倒角的硬质基板层叠体在用紧固夹具固定的状态下浸渍于蚀刻液中进行蚀刻的工序,所述紧固夹具将所述层叠体的所述两表面的整面在厚度方向进行按压。
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