[发明专利]一种准分子激光器的温度控制方法和系统无效
| 申请号： | 201310019613.5 | 申请日： | 2013-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN103094818A | 公开（公告）日： | 2013-05-08 |
| 发明（设计）人： | 张立佳;吴晓斌;赵江山;丁金滨;陈进新;李慧;刘斌;崔惠绒;周翊;王宇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电研究院 |
| 主分类号： | H01S3/041 | 分类号： | H01S3/041 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 100094*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种准分子激光器的温度控制方法和系统，其中该准分子激光器包括放电腔、多个温度检测器和多个温度控制装置，所述放电腔在工作时会产生热量，所述多个温度检测器用于检测与放电腔的温度有关的多个位置的温度，多个温度控制装置用于冷却或加热放电腔。本发明的方法和系统提供一个神经网络PID控制器，使所述神经网络PID控制器接收所述多个温度传感器检测的温度信号，并根据该多个温度信号分别调节所述温度控制装置，使所述放电腔的温度达到所需的温度。本发明可以快速准确的测量准分子激光器放电腔的温度，提高系统的温度稳定性，保障激光器具有较高的能量转换效率和能量稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 准分子激光 温度 控制 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种准分子激光器的温度控制方法，所述激准分子激光器包括放电腔、多个温度检测器和多个温度控制装置，所述放电腔在工作时会产生热量，所述多个温度检测器用于检测与放电腔的温度有关的多个位置的温度，所述多个温度控制装置用于冷却或加热放电腔，其特征在于，所述方法包括：提供一个神经网络PID控制器，使所述神经网络PID控制器接收所述多个温度传感器检测的温度信号，并根据该多个温度信号分别调节所述温度控制装置，使所述放电腔的温度达到所需的温度。
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