[发明专利]采用斩波技术的MEMS微加速度计闭环驱动电路

摘要

本发明涉及一种采用斩波技术的MEMS微加速度计闭环驱动电路，其包括MEMS微加速度计电路；所述MEMS微加速计电路的输出端与CMOS读出电路连接，所述CMOS读出电路通过反馈驱动电路与MEMS微加速度计电路的驱动端连接，以提供MEMS微加速度计电路的驱动电压；所述CMOS读出电路包括用于接收MEMS微加速计电路输出信号的调制器，所述调制器的输出端与放大器连接，所述放大器的输出端与带通滤波器连接，所述带通滤波器的输出端与解调器连接，所述解调器的输出端与低通滤波器连接；本发明可以降低电路电学噪声和失调，同时放大MEMS传感器信号，以及为MEMS微加速度计提供了驱动电路，整体电路具有自适应特性，不需要外接电路对MEMS加速度计进行驱动。

主权项

一种采用斩波技术的MEMS微加速计闭环驱动电路，包括MEMS微加速度计电路；其特征是：所述MEMS微加速计电路的输出端与CMOS读出电路连接，所述CMOS读出电路通过反馈驱动电路与MEMS微加速度计电路的驱动端连接，以提供MEMS微加速度计电路的驱动电压；所述CMOS读出电路包括用于接收MEMS微加速计电路输出信号的调制器（102），所述调制器（102）的输出端与放大器（103）连接，所述放大器（103）的输出端与带通滤波器（104）连接，所述带通滤波器（104）的输出端与解调器（105）连接，所述解调器（105）的输出端与低通滤波器（106）连接；调制器（102）将MEMS微加速度计电路的输出信号频率调制到高频，所述高频信号由放大器（103）进行放大，带通滤波器（104）对放大后的高频信号削弱信号频率范围外的信号，解调器（105）将带通滤波器（104）处理后的高频信号调制回低频信号，低通滤波器（106）对低频信号进行噪声和失调滤除，反馈驱动电路根据低通滤波器（106）的输出信号自动调节驱动MEMS微加速度计电路的驱动电压，以使得MEMS微加速度计电路自适应工作于谐振频率处。