[发明专利]衬底膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201280018385.3 | 申请日： | 2012-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN103492466B | 公开（公告）日： | 2017-02-15 |
| 发明（设计）人： | 朱孝叔;S·R·金;沈廷夑;张锡基 | 申请（专利权）人： | 株式会社LG化学 |
| 主分类号： | C08J5/18 | 分类号： | C08J5/18;C08F20/18;C08L33/06;C09J7/02;H01L21/48 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 顾晋伟 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种衬底膜及其制造方法。本发明可以提供一种展现优异的耐热性和尺寸稳定性的衬底膜，所述衬底膜具有优异的应力松弛，由此防止由残余应力所导致的晶片破裂，可以抑制由在晶片加工过程中的非均匀压力施加而导致的晶片损坏或飞溅等，并且具有优异的切割性。因此，本发明的衬底膜可以有效地用作各种晶片的加工过程（如切割、背面研磨或拾取）中的加工片。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种衬底膜，其在23℃下具有10kg·mm至250kg·mm的韧度，所述衬底膜具有80％至100％的凝胶含量并且具有10MPa至200MPa的模量，所述衬底膜包括无溶剂组合物的固化物，该无溶剂组合物在25℃下具有500cps至30000cps的粘度并且包含：(甲基)丙烯酸系聚合物组分，其包含作为聚合单元的(甲基)丙烯酸酯系单体且在聚合物的侧链或末端上具有光反应性基团；和35至300重量份的单体组分，其具有的玻璃化转变温度为20℃至100℃，相对于100重量份的(甲基)丙烯酸系聚合物组分计。
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