[实用新型]加热装置及化学气相沉积设备

摘要

本实用新型公开了一种加热装置。所述加热装置包括托盘和位于所述托盘下方的加热器，所述加热器包括多个加热区域；还包括多个气体填充单元；所述多个气体填充单元分别向所述加热器的各个加热区域与托盘之间的间隙中提供的缓冲气体的热传导系数不同，则在对应不同加热区域的间隙中的缓冲气体的导热能力不同，这样就能够较佳的调整托盘的温度。包含该加热装置的化学气相沉积设备在化学气相沉积过程中，能够获得更好的加热效果，避免了对衬底的不同区域加热不同的问题，从而保证了CVD过程较佳的进行。

主权项

一种加热装置，包括托盘和位于所述托盘下方的加热器，所述托盘和加热器之间具有间隙，所述加热器包括多个加热区域，所述多个加热区域分别正对所述托盘的不同区域；其特征在于，还包括多个气体填充单元；所述多个气体填充单元分别向所述加热器的各个加热区域与托盘之间的间隙中提供的缓冲气体的热传导系数不同；其中，所述多个加热区域对所述托盘进行独立加热。