[实用新型]一种局部隔离传送线结构有效
| 申请号： | 201220265087.1 | 申请日： | 2012-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN202601588U | 公开（公告）日： | 2012-12-12 |
| 发明（设计）人： | 黄跃龙;李克强;孙晓东;李宝瑛;徐会杰;刘强;张龙;郗文勇;平玉民 | 申请（专利权）人： | 保定天威薄膜光伏有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司： | 唐山顺诚专利事务所 13106 | 代理人： | 于文顺 |
| 地址： | 071051 河北省保定市*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种局部隔离传送线结构，属于太阳能电池制造过程中传送电子产品技术领域。技术方案是：包含传送线（1）、进气管道（2）、出气管道（3）和隔离板（4），在传送线周围设置隔离板，隔离板在传送线周围构成密闭的空间，将传送线包围在该空间内，隔离板上设置进气管道和出气管道。本实用新型的积极效果：传送线采用局部隔离的方式，降低厂务系统能耗；传送线具有环境调节系统，能够对环境进行调节、控制；隔离板快拆设计，易于拆装；控制传送线局部环境内的环境气氛，使产品可以较长时间停留在传送线上，使传送线具备暂存功能；利用环境监控装置可对产品局部环境实时监控。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 局部 隔离 传送 结构 | ||
【主权项】：
一种局部隔离传送线结构，其特征在于包含传送线（1）和隔离板（4），在传送线周围设置隔离板，隔离板在传送线周围构成密闭的空间，将传送线包围在该空间内。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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