[实用新型]一种用于电感耦合等离子处理装置的连接卡口有效
| 申请号： | 201220115766.0 | 申请日： | 2012-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN202473834U | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 左涛涛;徐朝阳;倪图强;周旭升;张亦涛 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种用于电感耦合等离子处理装置的绝缘顶板和顶盖的连接卡口，包括：一主体，所述主体包括：一柱状部件，其侧壁具有一与所述绝缘顶板的外围弧度相贴合的第一表面，所述柱状部件下表面接触于所述顶盖的上表面，其中，所述柱状部件具有至少一个通孔；在所述柱状部件的上下端分别具有一第一突起和第二突起，所述第一突起的下表面接触于所述绝缘顶板的外围的上表面，所述第二突起的上表面接触于所述绝缘顶板的外围的下表面，固定钉，其能够通过所述柱状部件的所述第一通孔和所述顶盖的所述凹洞。所述连接卡口能够固定所述盖板和绝缘顶板，并易于盖板和绝缘顶板的拆卸。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 电感 耦合 等离子 处理 装置 连接 卡口 | ||
【主权项】：
一种用于电感耦合等离子处理装置的绝缘顶板和顶盖的连接卡口，其中，所述电感耦合等离子处理装置具有一腔体，其提供了制程空间，所述腔体包括侧壁以及一顶盖，所述顶盖具有一中央开口，在所述顶盖上方设置了一绝缘顶板，其覆盖所述中央开口，所述顶盖具有一凹洞，其中，所述连接卡口包括：一主体，所述主体包括：一柱状部件，其侧壁具有一与所述绝缘顶板的外围弧度相贴合的第一表面，所述柱状部件下表面接触于所述顶盖的上表面，其中，所述柱状部件具有至少一个第一通孔；在所述柱状部件的上下端分别具有一第一突起和第二突起，所述第一突起的下表面接触于所述绝缘顶板的外围的上表面，所述第二突起的上表面接触于所述绝缘顶板的外围的下表面，固定钉，其能够通过所述柱状部件的所述第一通孔和所述顶盖的所述凹洞。
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