[发明专利]锚固结构和啮合结构在审
| 申请号： | 201210521985.3 | 申请日： | 2012-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN103165663A | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | F.希尔勒;W.里格;U.施马尔茨鲍尔;E.J.福格尔;R.策尔萨歇尔;M.聪德尔 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/423 | 分类号： | H01L29/423 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 王岳;卢江 |
| 地址： | 德国瑙伊比*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及锚固结构和啮合结构。一种用于半导体器件的金属结构的锚固结构包括具有至少一个悬伸侧壁的锚固凹陷结构，该金属结构至少部分地设置在锚固凹陷结构内。 | ||
| 搜索关键词： | 锚固 结构 啮合 | ||
【主权项】：
一种用于半导体器件的金属结构的锚固结构，该锚固结构包括：锚固凹陷结构，包括至少一个悬伸侧壁，其中金属结构至少部分地设置在锚固凹陷结构内。
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