[发明专利]背板的制作方法及背板有效
| 申请号： | 201210431372.0 | 申请日： | 2012-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN103785961A | 公开（公告）日： | 2014-05-14 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;杨广 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B23K28/02 | 分类号： | B23K28/02;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市余姚*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种背板的制作方法及背板，其中，一种背板的制作方法，包括：提供背板的第一部分和第二部分，所述背板的第一部分具有容纳第二部分的第一凹槽；所述第二部分至少具有一个第二凹槽；在所述第一凹槽的底部形成钎料层；将第二部分置入形成钎料层的第一凹槽内，所述第二部分具有第二凹槽的一面与钎料层接触；利用电子束焊接工艺将第二部分侧壁与第一凹槽侧壁进行焊接；电子束焊接工艺后，利用钎焊工艺将第二部分具有第二凹槽的一面与第一凹槽的底面进行钎焊，形成背板。本发明还提供一种背板。采用本发明的背板的制作方法可以增加背板的使用寿命较短，而且提高基片镀膜质量，来满足要求越来越高的溅射工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 背板 制作方法 | ||
【主权项】：
一种背板的制作方法，其特征在于，包括：提供背板的第一部分和第二部分，所述背板的第一部分具有容纳第二部分的第一凹槽；所述第二部分至少具有一个第二凹槽；在所述第一凹槽的底部形成钎料层；将第二部分置入形成钎料层的第一凹槽内，所述第二部分具有第二凹槽的一面与钎料层接触；利用电子束焊接工艺将第二部分侧壁与第一凹槽侧壁进行焊接；电子束焊接工艺后，利用钎焊工艺将第二部分具有第二凹槽的一面与第一凹槽的底面进行钎焊，形成背板。
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