[发明专利]等离子体设备及工件位置检测方法有效
| 申请号： | 201210401876.8 | 申请日： | 2012-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN103779165A | 公开（公告）日： | 2014-05-07 |
| 发明（设计）人： | 李谦 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种等离子体设备和工件位置检测方法，该等离子体设备包括反应腔体，以及位于反应腔体之内的静电卡盘、顶针、和静电电源，等离子体设备还包括传感器、结果判断单元、以及结果处理单元，其中，所述传感器包括用于发送感测信号的发送模块、以及与所述发送模块对应的接收模块；所述结果判断单元，用于根据传感器的感测信号判断所述工件是否被所述顶针正常顶起；所述结果处理单元，根据所述结果判断单元的判断结果执行处理流程。通过本发明的等离子体设备和工件位置检测方法，能够在加工工艺中，及时获知工件是否正常升起，降低了在粘片现象发生时可能出现的坏片或者碎片的情况，减小了对机械手造成损害的可能性。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 设备 工件 位置 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种等离子体设备，包括反应腔体，以及位于反应腔体之内的静电卡盘、顶针和位于反应腔体外的电源，所述静电卡盘用于承载所述待加工的工件，其特征在于，所述等离子体设备还包括用于检测工件位置的传感器、结果判断单元、以及结果处理单元，其中，所述传感器包括发送模块以及与所述发送模块对应的接收模块；所述发送模块，用于向所述工件发送感测信号；所述接收模块，用于接收来自所述工件的感测信号；所述结果判断单元，根据所述传感器的感测信号判断所述工件是否被所述顶针正常顶起；所述结果处理单元，根据所述结果判断单元的判断结果执行处理流程。
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