[发明专利]阵列式单芯片集成数字微加速度计有效
| 申请号： | 201210336902.3 | 申请日： | 2012-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN102866262A | 公开（公告）日： | 2013-01-09 |
| 发明（设计）人： | 郭涛;鲍爱达;马喜宏;杨卫;李杰;张晓明;石云波;徐香菊;朱杰 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01P15/12 | 分类号： | G01P15/12 |
| 代理公司： | 太原科卫专利事务所(普通合伙) 14100 | 代理人： | 朱源 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明涉及微加速度计，具体为一种阵列式单芯片集成数字微加速度计，解决了现有的加速度传感器体积大，现有的加速度计单元达不到满量程输出、固支梁的根部易断裂、高低量程的加速度计达不到优化配置的技术问题。一种阵列式单芯片集成数字微加速度计，包括单晶硅材料的结构层（2）；所述结构层（2）分为左右两部分，所述结构层（2）右面的上下两部分分别集成有不同量程的第一压阻式加速度计单元（21）和第二压阻式加速度计单元（22）；结构层（2）左面集成有对第一、二压阻式加速度计单元（21、22）的输出信号进行放大滤波处理的CMOS电路。本发明将加速度计阵列单元与信号处理电路集成到一块芯片上，实现了微型化和集成化。 | ||
| 搜索关键词： | 阵列 芯片 集成 数字 加速度计 | ||
【主权项】：
一种阵列式单芯片集成数字微加速度计，其特征在于：包括单晶硅材料的结构层（2）；所述结构层（2）分为左右两部分，结构层（2）右面的上下两部分分别集成有不同量程的第一压阻式加速度计单元（21）和第二压阻式加速度计单元（22）；结构层（2）左面集成有对第一、二压阻式加速度计单元（21、22）的输出信号进行放大滤波处理的CMOS电路；所述第一压阻式加速度计单元（21）包括置于结构层（2）内的第一质量块（212），所述第一质量块（212）通过四个第一固支梁（211）与结构层（2）一体构成；所述四个第一固支梁（211）上分别设有阻值相等、连接成惠斯通电桥的压敏电阻（20）；所述第二压阻式加速度计单元（22）包括置于结构层（2）内的第二质量块（222），所述第二质量块（222）通过四个第二固支梁（221）与结构层（2）一体构成；所述四个第二固支梁（221）上分别设有阻值相等、连接成惠斯通电桥的压敏电阻（20）；所述惠斯通电桥分别接入所述CMOS电路。
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